蓝宝石长晶炉
YZJ-80A/B型 蓝宝石长晶炉
YZJ-80A/B蓝宝石长晶炉采用热交换法来生长晶体,热交换法就是熔液在坩埚内直径凝固,它于其他坩埚移动法的区别在于,坩埚不做任何方向的移动,晶体生长时,坩埚、晶体和加热区都不移动,这就消除了由于机械运动而产生的熔体涡流,控制热交换器的温度,是晶体生长在温度梯度场中进行,抑制了熔体的涡流和对流,可以消除固、液界面上温度和浓度的波动,以避免晶体造成过多的缺陷,生长出来的晶体被熔体所包围,这样就可以控制它的冷却速率,以减少晶体的热应力及由此产生的开裂和位错等缺陷。同时,也可以长出与坩埚形状和尺寸相仿的单晶。
设备介绍
我公司根据近几年来市场对大尺寸晶体需求不断增加的趋势,在国外技术的的基础上研制开发的两款长晶炉,YZJ-80A和YZJ-80B型,拥有多项专利,专利号:ZL 201320040701.9 ZL 201330060000.7 ,两款长晶炉的装料量都可以达到85~120KG,其原理是在真空炉的底部增加了一个钨钼材料制成的热交换器,内部有氦气循环流动,装有原料的坩埚在交换器的上面,籽晶安放在坩埚底部正中心,当坩埚内原料经加热熔化,而底部的籽晶由氦气保护不会熔化,当氦气流量不断加大,从而带走的热量也逐步增加,促使籽晶慢慢长大,直到完全凝固。
长晶炉由炉体、热场、真空系统、氦气系统、冷却水系统和自动控制系统几个部分组成,主要部件全部采用进口件,稳定性好,具有操作简单,维护方便等优点。
YZJ-80A型长晶炉外形
YZJ-80B型外形图
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YZJ-80A型热场示意图
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YZJ-80B热场示意图
技术参数
| 外形尺寸 | 3600*2350*3200 | |
| 电 源 | 主电源 | AC380V ~450V 三相加接地 需UPS稳压 |
| UPS | 功率100KW 输出电压 ±1% | |
| 功率 | ≤80KW | |
| 满载电流 | 160A | |
| 冷却水 | 质量 | 总硬度100~300mg/L(ppm) |
| 流量 | 55~75L/min | |
| 进水压力 | 0.2Mp | |
| 进水温度 | 20~30°C | |
| 应急水 | 流量 | >38L/min |
| 进水压力 | 0.2Mp | |
| 压缩空气 | 质量 | 干燥 无油 |
| 压力 | 0.5~0.8Mp | |
| 用量 | 0.07M³/h | |
| 氦气 | 质量 | 纯度9.9999% |
| 进气压力 | <0.82Mp | |
| 流量 | 0.015L/min(工艺氦气) | |
| 用量 | 8M³/每炉 | |
| 排气 | 排气量 | ≤75M³/h |
| 压力 | ≤0.12Mp | |
| 环境要求 | 温度 | 18~25°C |
| 相对湿度 | 65% | |
| 噪音 | 75dB | |
设备平面布置图

产品照片
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120KG晶锭
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110KG晶锭
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手机面板
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晶棒
展会照片
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长晶炉正面
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长晶炉炉体
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用户现场
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高温计
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氦气压缩机
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控制柜
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热交换器
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旋臂操作箱
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人机界面



