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蓝宝石长晶炉

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蓝宝石长晶炉

YZJ-80A/B型 蓝宝石长晶炉

YZJ-80A/B蓝宝石长晶炉采用热交换法来生长晶体,热交换法就是熔液在坩埚内直径凝固,它于其他坩埚移动法的区别在于,坩埚不做任何方向的移动,晶体生长时,坩埚、晶体和加热区都不移动,这就消除了由于机械运动而产生的熔体涡流,控制热交换器的温度,是晶体生长在温度梯度场中进行,抑制了熔体的涡流和对流,可以消除固、液界面上温度和浓度的波动,以避免晶体造成过多的缺陷,生长出来的晶体被熔体所包围,这样就可以控制它的冷却速率,以减少晶体的热应力及由此产生的开裂和位错等缺陷。同时,也可以长出与坩埚形状和尺寸相仿的单晶。

设备介绍

我公司根据近几年来市场对大尺寸晶体需求不断增加的趋势,在国外技术的的基础上研制开发的两款长晶炉,YZJ-80A和YZJ-80B型,拥有多项专利,专利号:ZL 201320040701.9     ZL 201330060000.7  ,两款长晶炉的装料量都可以达到85~120KG,其原理是在真空炉的底部增加了一个钨钼材料制成的热交换器,内部有氦气循环流动,装有原料的坩埚在交换器的上面,籽晶安放在坩埚底部正中心,当坩埚内原料经加热熔化,而底部的籽晶由氦气保护不会熔化,当氦气流量不断加大,从而带走的热量也逐步增加,促使籽晶慢慢长大,直到完全凝固。
长晶炉由炉体、热场、真空系统、氦气系统、冷却水系统和自动控制系统几个部分组成,主要部件全部采用进口件,稳定性好,具有操作简单,维护方便等优点。

YZJ-80A型长晶炉外形

YZJ-80B型外形图

  • YZJ-80A型热场示意图
  • YZJ-80B热场示意图

技术参数

外形尺寸 3600*2350*3200
电  源 主电源 AC380V ~450V  三相加接地  需UPS稳压
UPS 功率100KW    输出电压 ±1%
功率 ≤80KW
满载电流 160A
冷却水 质量 总硬度100~300mg/L(ppm)
流量 55~75L/min
进水压力 0.2Mp
进水温度 20~30°C
应急水 流量 >38L/min
进水压力 0.2Mp
压缩空气 质量 干燥   无油
压力 0.5~0.8Mp
用量 0.07M³/h
氦气 质量 纯度9.9999%
进气压力 <0.82Mp
流量 0.015L/min(工艺氦气)
用量 8M³/每炉
排气 排气量 ≤75M³/h
压力 ≤0.12Mp
环境要求 温度 18~25°C
相对湿度 65%
噪音 75dB

设备平面布置图


产品照片

  • 120KG晶锭
  • 110KG晶锭
  • 手机面板
  • 晶棒

展会照片

  • 长晶炉正面
  • 长晶炉炉体
  • 用户现场
  • 高温计
  • 氦气压缩机
  • 控制柜
  • 热交换器
  • 旋臂操作箱
  • 人机界面