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坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备,用于对铸锭炉所使用的石英坩埚脱模剂(SiN 粉末)涂层喷涂。该装置是铸锭炉必备附机,采用温控匀热技术及防飞雾喷枪,帮助用户完成高质量的坩埚喷涂,并减少原料的消耗!
根据用户需求,坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂(SiN 粉末)泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件。